TP630(離子注入)
湧(yǒng)淳半導體專注於半導(dǎo)體工藝設備的研發(fā)、製造、銷(xiāo)售及售後一體化(huà)服務,提供半導體廠商工藝設備的一站式解決方(fāng)案。
關鍵詞:
半導體設備、半導體工藝(yì)
所屬分類:
產品描述
TP630 利用 PUMP 激(jī)光器對晶圓(yuán)表麵加熱來測量反射晶(jīng)格 damage 程度熱波特(tè)征間接計(jì)算出與離子植入量成線性關係(xì)的 TW 值(infinity)。
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產品詢價
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