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光纖光柵測溫及真空檢測係統

光纖光柵測溫及真空檢測（cè）係統

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MIS MARS X8 Plus（15寸大物體非破壞電子束微（wēi）檢測係統）

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Scrubber（尾氣處理設備）

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Dark Field（暗場缺陷檢測（cè））

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Bright Field（明場缺陷檢測）

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Particle Counter（顆粒檢測）

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